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D1006437 (fulltext)	pdf	4.16 MB	508
D1006437y (abstract)	pdf	254 KB	57

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メタデータID	D1006437
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
タイトル	半導体酸化拡散・化学気相成長装置の高精度熱処理・成膜反応プロセスに関する研究
著者	著者名 渡邉, 智司 ワタナベ, トモジ 所属機関名 神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻
言語	Japanese (日本語)
刊行日	2015-03-25
公開日	2016-03-01
学位授与番号	甲第6437号
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2015-03-25
学位授与機関	学位授与機関識別子 14501 学位授与機関名　　 神戸大学 Kobe University
審査員	教授　平澤　茂樹/教授　山根　隆志/教授　鈴木　洋/准 教授　川南　剛
請求記号	博い第872号(社会科学系図書館)
カテゴリ	工学研究科
	博士（工学） ＞ 2015
	博士論文

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