超音波楕円振動切削による3次元マイクロ形状の超精密加工

https://hdl.handle.net/20.500.14094/K0001172

このアイテムのアクセス数:23件（2025-05-09 15:24 集計）

メタデータID	K0001172
アクセス権	metadata only access
出版タイプ	Not Applicable (or Unknown)
タイトル	超音波楕円振動切削による3次元マイクロ形状の超精密加工
タイトル	チョウオンパダエンシンドウセツサクニヨル3ジゲンマイクロケイジョウノチョウセイミツカコウ
著者	著者名森脇, 俊道モリワキ, トシミチ所属機関名神戸大学工学部
収録物名	科研報告書
巻(号)	12450061
刊行日	2002-03
請求記号	科研1172 (社会科学系図書館)
注記	2000-2001年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)
カテゴリ	報告書